水素センサ（Ver.2）のフィルタ交換
使用部品¶
作業手順¶
手順1¶
装置の主電源がはいっていないことを確認します（電源ボタンは消灯）。
手順2¶
AFC/APCカバー（★1）を開けます。
手順3¶
スパナ①でHYSユニットに接続されている金属パイプを取り外します。
手順4¶
ピンセット②でフィルタを取り除き、代わりに新しいフィルタ③を1つ入れます。
フィルタが水平になるよう、ピンセットで調整します。
手順5¶
スパナ①で金属パイプをHYSユニットに取り付け、フローコントローラカバーを閉めます。