EIイオン源の交換手順

使用部品

No.
部品名称
カテゴリ
必要個数
備考
①
EI イオン源ボックス
GC-MS関連部品
1
熱処理済です。
②
イオン源ASSY着脱治具
GC-MS関連部品
1
本体からイオン源ボックスを取り外す時に使用します。
③
ボックスドライバ
GC-MS関連部品
1
イオン源を交換する時に使用します。
④
レンズ1ASSY
GC-MS関連部品
1
ナット、バネワッシャ、ワッシャ、プレート、碍子、レンズ1の組立品です。
⑤
レンズ1
GC-MS関連部品
1
熱処理済です。
⑥
碍子
GC-MS関連部品
1
割れている場合は交換してください。

作業手順

手順1

メンテナンス作業を行う前に必ず下記の1から3を行ってください。

  1. GC/MSを自動停止します。[完了]の表示が出るまで待ちます。
  2. LabSolutionsを終了します。
  3. 装置のメインスイッチを切ります。

手順2

前扉を開けます。

手順3

イオン源ASSY着脱治具(②)を所定位置に挿入し、ねじ込みます。

注記

清潔な手袋をはめて作業してください。作業に使用する工具は必ずアセトンを含ませたガーゼで汚れを拭き取って使用してください。

手順4

イオン源ASSY着脱治具を手で持ちながら、ボックスドライバ(③)を使ってネジ（2箇所）を完全に緩めます。

手順5

イオン源ASSY着脱治具を持ち、イオン源ボックス組立品を取り外します。

注記

取り外した部品はガーゼなどの上に置き、汚れが付着しないようにしてください。

手順6

イオン源ASSY着脱治具を取り外し、イオン源ボックス(①)とレンズ1ASSY(④)を分離します。

手順7

ボックスドライバを用いて、レンズ1ASSYを分解します。

手順8

新しいイオン源ボックスとレンズ1を用意します。

手順9

イオン源を組み立てます。レンズ1(⑤)→碍子(⑥)→プレート(★1)→ワッシャ(★2)→バネワッシャ(★3)→ナット(★4)を入れます。


手順10

プレートを押さえながら、手でナットを軽く締め付けます。
ある程度締め付けたら、ボックスドライバで注意して締め付けます。

注記

力を入れすぎるとレンズ1がひずんだり、碍子が割れることがあります。

手順11

ジグを通す穴、およびプレート上の突起（2箇所）とイオン源ボックスの穴（2箇所）が合うように、イオン源ボックスにレンズ1ASSYをはめ込みます。

手順12

イオン源ASSY着脱治具を取付けます。
イオン源ASSY着脱治具を持ち、イオン源ボックス組立品を装置にはめ込みます。

注記

図のように持ち、2本のネジをいったんプレートから引き出した状態にすると、はめ込みやすくなります。

手順13

ボックスドライバを使ってネジ（2箇所）を左側のネジから軽く締めます。イオン源ASSY着脱治具を取り外します。
ネジ（2箇所）を本締めしてください。

手順14

真空容器のOリング当たり面(★1)やOリング(★2)にゴミが付着していないことを確認します。

手順15

前扉を閉めます。

手順16

GC/MSを起動します。

手順17

[分析]プログラムを起動し、装置モニタの[詳細]をクリックします。

手順18

  1. [装置モニタ詳細]画面の[消耗品(MS)]タブを表示します。[イオン源]の使用時間を記録してください。
注記

次回、取り外したイオン源を再利用する場合は、イオン源の使用時間を記録しておくことをお勧めします。

  1. [消耗品リセット]ボタンをクリックします。

手順19

  1. [消耗品リセット]画面で[イオン源]の時間に"0"を入力し、[設定]ボタンをクリックします。設定したら、[OK]ボタンをクリックします。

  1. [装置モニタ詳細]画面で[閉じる]をクリックして、画面を閉じます。