EIイオン源の交換手順
使用部品¶
No. |
部品名称 |
カテゴリ |
必要個数 |
備考 |
---|---|---|---|---|
① |
EI イオン源ボックス |
1 |
熱処理済です。 |
|
② |
イオン源ASSY着脱治具 |
1 |
本体からイオン源ボックスを取り外す時に使用します。 |
|
③ |
ボックスドライバ |
1 |
イオン源を交換する時に使用します。 |
|
④ |
レンズ1ASSY |
1 |
ナット、バネワッシャ、ワッシャ、プレート、碍子、レンズ1の組立品です。 |
|
⑤ |
レンズ1 |
1 |
熱処理済です。 |
|
⑥ |
碍子 |
1 |
割れている場合は交換してください。 |
作業手順¶
手順1¶
メンテナンス作業を行う前に必ず下記の1から3を行ってください。
- GC/MSを自動停止します。[完了]の表示が出るまで待ちます。
- LabSolutionsを終了します。
- 装置のメインスイッチを切ります。
手順2¶
前扉を開けます。
手順3¶
イオン源ASSY着脱治具(②)を所定位置に挿入し、ねじ込みます。
清潔な手袋をはめて作業してください。作業に使用する工具は必ずアセトンを含ませたガーゼで汚れを拭き取って使用してください。
手順4¶
イオン源ASSY着脱治具を手で持ちながら、ボックスドライバ(③)を使ってネジ(2箇所)を完全に緩めます。
手順5¶
イオン源ASSY着脱治具を持ち、イオン源ボックス組立品を取り外します。
- 取り外したイオン源ASSY着脱治具とイオン源ボックス組立品
取り外した部品はガーゼなどの上に置き、汚れが付着しないようにしてください。
手順6¶
イオン源ASSY着脱治具を取り外し、イオン源ボックス(①)とレンズ1ASSY(④)を分離します。
手順7¶
ボックスドライバを用いて、レンズ1ASSYを分解します。
- ボックスドライバを用いて、ナットを緩めている様子
ある程度緩んだら、手で完全に緩めてください。
- レンズ1ASSYを分解したところ
手順8¶
新しいイオン源ボックスとレンズ1を用意します。
手順9¶
イオン源を組み立てます。レンズ1(⑤)→碍子(⑥)→プレート(★1)→ワッシャ(★2)→バネワッシャ(★3)→ナット(★4)を入れます。
手順10¶
プレートを押さえながら、手でナットを軽く締め付けます。
ある程度締め付けたら、ボックスドライバで注意して締め付けます。
力を入れすぎるとレンズ1がひずんだり、碍子が割れることがあります。
手順11¶
ジグを通す穴、およびプレート上の突起(2箇所)とイオン源ボックスの穴(2箇所)が合うように、イオン源ボックスにレンズ1ASSYをはめ込みます。
手順12¶
イオン源ASSY着脱治具を取付けます。
イオン源ASSY着脱治具を持ち、イオン源ボックス組立品を装置にはめ込みます。
図のように持ち、2本のネジをいったんプレートから引き出した状態にすると、はめ込みやすくなります。
手順13¶
ボックスドライバを使ってネジ(2箇所)を左側のネジから軽く締めます。イオン源ASSY着脱治具を取り外します。
ネジ(2箇所)を本締めしてください。
手順14¶
真空容器のOリング当たり面(★1)やOリング(★2)にゴミが付着していないことを確認します。
手順15¶
前扉を閉めます。
手順16¶
GC/MSを起動します。
手順17¶
[分析]プログラムを起動し、装置モニタの[詳細]をクリックします。
手順18¶
- [装置モニタ詳細]画面の[消耗品(MS)]タブを表示します。[イオン源]の使用時間を記録してください。
次回、取り外したイオン源を再利用する場合は、イオン源の使用時間を記録しておくことをお勧めします。
- [消耗品リセット]ボタンをクリックします。
手順19¶
- [消耗品リセット]画面で[イオン源]の時間に"0"を入力し、[設定]ボタンをクリックします。設定したら、[OK]ボタンをクリックします。
- [装置モニタ詳細]画面で[閉じる]をクリックして、画面を閉じます。