SCD検出部絶対圧が低いです[エラーコード:9080]

原因

SCD検出部絶対圧センサが故障しています。

対策

装置の主電源を切り、ガスの供給を停止し、当社営業所、代理店、当社指定のサービス担当店に、部品交換を依頼してください。