SCDオゾン発生器用酸素が正しく制御できません[エラーコード:6175]

原因

SCDのオゾン発生器用酸素ガス制御用フローコントローラの流量が安定していません。

対策

上記の対策を実施後改善しない場合は、フローコントローラの故障が考えられます。
装置の主電源を切り、ガスの供給を停止し、当社営業所、代理店、当社指定のサービス担当店に連絡してください。