目次

SCD 窒素が正しく制御 できません[エラーコード:6167]

原因¶

SCDの窒素ガス制御用フローコントローラが正常に動作していません。

対策¶

• 窒素ガスを流すために必要な供給圧力となっていることを確認してください。
  
  

  
  
  
  

  
• ガスの供給圧力が安定していることを確認してください。

上記確認後も繰り返しエラーが表示されるときは、装置の主電源を切り、ガスの供給を停止し、当社営業所、代理店、当社指定のサービス担当店に連絡してください。