目次
原因
対策
SCDオゾン発生器用酸素の設定流量が低いです[エラーコード:6156]
原因
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オゾン用酸素の設定流量が16.0 mL/min未満で自動起動が実行されました。
対策
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オゾン用酸素流量を16.0 mL/min以上に設定してください。