SCDオゾン発生器用酸素の設定流量が低いです[エラーコード:6156]

原因

オゾン用酸素の設定流量が16.0 mL/min未満で自動起動が実行されました。

対策

オゾン用酸素流量を16.0 mL/min以上に設定してください。