DetAPCn 放電ガスが過圧状態です[エラーコード:2264 2265 2266 2267]
原因¶
BID検出器ガス流量が規定値を超えてしまいました。APC動作中に供給ガス圧力を変更すると発生する場合があります。
対策¶
- APC動作中に供給ガスの元栓を開閉しないようにしてください。
- ガスを供給した状態で再度GCを起動してください。
- BID検出器ガスの供給圧力が以下の範囲に入っていることを確認してください。
- 供給圧力が安定していることを確認してください。
上記確認後改善しない場合は、APC制御システムの故障が考えられます。ボンベからのガス供給を停止し、装置の主電源を切り、当社営業所、代理店、当社指定のサービス担当店に連絡してください。