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CARm AFCが設定値に到達しません[エラーコード:2130 2131 2204 2205]

原因¶

下記理由により圧力や流量が設定値まで到達できていない可能性があります。

• ガスの供給圧力が不足している。
• 配管接続部に漏れがある。
• 供給配管の抵抗が大きい（接続している配管内径が細い、長い）。

対策¶

• カラム入口圧力、全流量の設定値が「 AFC、APCの制御範囲 」に入っていることを確認してください。
• ガスの元圧が開いていることを確認してください。
• 配管接続部に緩みや漏れがないか確認してください。
• 当社指定のサービス担当店に連絡し、使用している配管内径、長さを確認してください。