カーボン上のSnボールを倍率3万倍でマッピング分析しました。SE像（左）で直径わずか50nm程度と見られるSnの粒子までもがX線像（右）で明確に確認できます。
EPMA-8050G
電子線マイクロアナライザ(Electron Probe Microanalyzer)
“The Grand EPMA” 誕生
最新鋭のFE電子光学系で究極に進化した島津EPMAの分析能力
SEM観察条件から1µAオーダーに至るまで、全てのビーム電流条件でかつてない卓越した空間分解能が得られる最新鋭のFE電子光学系を搭載。島津伝統の高性能X線分光器との融合により、その分析能力は究極と言えるまでに進化しました。
まさに “The Grand EPMA” と呼ぶにふさわしい、最高峰のEPMAの誕生です。
特長
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EPMAとして最高レベルの二次電子像最高分解能 3nm（加速電圧30kV）。分析条件でナンバーワンの二次電子像分解能。
（加速電圧10kVにおいて、20nm@10nA/50nm@100nA/150nm@1µA） -
最大ビーム電流3.0µA（加速電圧30kV）を実現。全てのビーム電流範囲で対物絞り交換必要なし。 -
他の追従を許さないX線取り出し角度52.5度。高感度と高分解能を両立するローランド円半径4インチ。同タイプのX線分光器を最大5台搭載可能。 -
全ての操作がマウスひとつで行える先進の操作性。「分かりやすさ」を追求したユーザインターフェース。レポート作成まで自動で行う簡単モードを搭載。 -
SEMで一般的に用いられるものよりも先端径の大きい高出力タイプのショットキーエミッタを採用したFE電子銃。高輝度でありながら高感度分析に不可欠な大電流の電子ビームが安定して得られます。
最新セミナー動画
News / Events
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走査電子顕微鏡（SEM）SUPERSCANシリーズ発売記念Webinar
素材を選ばずナノの世界へ素早くアプローチ！配信日：2025年7月17日 (木) 14:00 ～ 15:00
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島津150周年記念キャンペーン第2弾
150年の感謝の気持ちを込めて、「島津150周年記念キャンペーン第2弾」を実施いたします。島津の幅広いラインナップの中からイチオシ製品を特別価格でご⽤意いたしました。ぜひ本キャンペーンをご活用下さい。
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走査電子顕微鏡 SUPERSCAN SS-2000を発売
SS-2000は、使いやすさと高効率な観察・分析を実現したタングステンフィラメントタイプの走査電子顕微鏡です。低真空モードも標準搭載しているため、非導電性の試料を含む様々な素材に対して、ミクロの領域での観察・分析を容易に行うことができます。
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走査電子顕微鏡 SUPERSCAN SS-3000を発売
SS-3000は、ビーム減速機構と低真空モードを標準搭載した高分解能走査電子顕微鏡です。金属材料から、ビームダメージに弱いソフトマテリアルや非導電性の材料に至るまで、様々な素材について詳細な形態観察や組成分析が可能です。
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LiB Webinar 2025 DAY1
配信日：2025年2月27日 (木) 13:00 ～ 15:15
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走査電子顕微鏡 SUPERSCAN SS-4000を発売
SS-4000は、生体試料やソフトマテリアルなどの非導電性の試料やビームダメージに弱い試料もナノの領域で観察できる走査電子顕微鏡です。低加速または低真空の観察条件において、特に優れた性能を発揮します。
