SolidSpec-3700i/3700i DUV

 

高感度

 

光学部品関係の測定では精度の高い透過率および反射率の測定が必要となります。SolidSpec-3700i/SolidSpec-3700i DUVは紫外領域から近赤外領域までを3つの検出器でカバーしています。特にInGaAs検出器と冷却PbS検出器を使用することにより、近赤外領域での感度を高めました。紫外から近赤外領域にわたって、高感度で精度の高いスペクトルが得られます。

これまでの分光光度計では紫外-可視域にはPMT(光電子増倍管)、近赤外域にはPbS検出器が使用されてきました。しかし、波長900 nm付近では両検出器とも感度が低下するため高感度測定が困難でした。SolidSpec-3700i/SolidSpec-3700i DUVではこの切替波長域で感度の高いInGaAs検出器を使用することにより近赤外域での高感度測定が可能となりました。

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ワイドな測定波長範囲 (SolidSpec-3700i DUV)

ArFエキシマレーザーに代表される半導体製造露光装置の照射レーザ短波長化に伴い、深紫外領域での光学材料の透過率や反射率測定の要求が高まっています。
SolidSpec-3700i DUV は、積分球使用時でも 175~2600 nm まで測定可能で、オプションの直接受光ユニットDUVを用いた場合では165~3300 nmまで測定可能となります。

 

190 nm以下の深紫外光は空気中の酸素により吸収されます。
この波長域で測定を行うためには分光器だけではなく試料室、光源部、検出器部の光路上を十分に窒素ガスでパージする必要があります。
SolidSpec-3700i DUVは各ユニットにパージ吸入口を持つパージシステムを採用していますので高精度の窒素パージが可能となりました。

深紫外領域の測定を行うためには検出器の窓材や積分球内壁の材料などに深紫外光を吸収しないような材料を使用する必要があります。
SolidSpec-3700i DUVでは窓材に石英材料を使用したPMT検出器およびDランプと深紫外域まで高反射率特性を持つ特殊樹脂を内壁に使用した積分球を採用しています。

                       

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大形試料室・多様な試料に対応

SolidSpec-3700i/SolidSpec-3700i DUVは大形試料の非破壊測に対応するため超大形試料室を装備しています。
測定可能な最大試料寸法は幅700 mm×奥行560 mmです。また、ø310 mmまたは310×310 mmの試料全面を測定することができます。
3次元光学系を採用していますので、試料を水平置きにしたまま透過、反射測定が可能です。
水平置きですので特別な試料ホルダを用意する必要もありません。

 

 

 

 

3次元光学系

3次元光学系の採用により大形試料を切断することなく非破壊で測定できます。
従来は光が水平方向のみを走る光学系でしたが、垂直方向にも光が走る3次元光学系(特許US6583872)を採用しました。大形試料をセッティングが容易な水平置き方式で測定できます。

自動測定、面内分布測定

オートX Yステージ付属装置 (オプション)
SolidSpec-3700i/SolidSpec-3700i DUV専用に開発されたオプションのオートXYステージ付属装置を使用しますと窒素パージ状態を保ったまま、あらかじめ設定された任意位置での自動多点測定が可能となります。

液体測定、固体透過測定(積分球無し)

直接受光ユニット DDU (オプション)
積分球による測定は光の偏向や散乱があっても精度良く測定できる利点がありますが、光の損失が大きく感度を重視した測定には不向きです。また通常の溶液測定では積分球を必要としません。積分球を介さずに直接検出器に光を入射させたい要求に応えるため、直接受光ユニットを用意しています。深紫外仕様のSolidSpec-3700i/ SolidSpec-3700i DUVに直接受光ユニット(DDU-DUV)を使用しますと最短165 nm注)までの測定が可能となります。本ユニットを取り付けますと、固体試料は積分球測定、液体試料は直接受光測定といった切替が簡単に行えます。

注) 深紫外仕様のSolidSpec-3700i DUVで190 nm以下を測定する場合には、 空気中の酸素の吸収影響を避けるために窒素でパージする必要があります。標準仕様のSolidSpec-3700iにオプションの直接受光ユニットDDUを取り付けた場合の仕様は190~3300 nmです。

  
 

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