SolidSpec-3700i/3700i DUV

 

関連アプリケーション情報

 

2検出器モデルと3検出器モデルの比較

PMT(光電子増倍管)と冷却PbS検出器に加えて新たにInGaAs検出器を採用しました。
2検出器モデル(PMT、PbS)の装置に比べて特にInGaAs検出器領域(900~1600 nm)でのノイズが少なくなっています。

検出器切替段差が少ない高精度測定

検出器切替時の段差やショックノイズは不可避の要因もありますが、SolidSpec-3700i/SolidSpec-3700i DUVは、検出器の切替による段差を極力抑えました。

上図左はカラーフィルタの透過スペクトル、右はポリエステルフィルムの透過スペクトルです。
それぞれ検出器切替波長(870 nm、1650 nm)における段差が現れていません。

 

深紫外測定用積分球

 

通常の分光光度計では高精度測定が困難である190 nm近傍の波長でも低ノイズのスペクトルが得られます。
この波長域での測定が可能になることによりArFエキシマレーザ向け半導体関連材料の測定に威力を発揮します。

 

 

 

左図のスペクトルは、SolidSpec-3700i DUVにて付属の深紫外仕様積分球とSolidSpec-3700iにて付属の標準仕様積分球による100%ベースラインを示しています。

 

深紫外領域測定例

 

深紫外領域にて高精度の測定を行うためには、十分な光量と低迷光が必要となります。
左図は直接受光ユニットDUV(オプション)を使用して石英板の透過スペクトルを測定した例です。石英の吸収による透過率低下が明瞭に見られ、低ノイズで精度の高い紫外領域のスペクトルが得られています。

 
 

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