SolidSpec-3700/3700DUV

深紫外から近赤外域まで高感度測定が可能

SolidSpec 応用例

単結晶Si太陽電池用反射防止膜の測定 

可変角絶対反射測定装置*を用いて単結晶Si太陽電池用反射防止膜の絶対反射スペクトル測定を行いました。反射率は偏光による影響を受けるため,s偏光,p偏光に分けて測定を行いました。s偏光での測定結果をFig.1に,p偏光での測定結果をFig.2に示します。入射角が5°や15°では575 nm付近の反射率が約0.2 %と極めて低く,本試料が垂直に近い入射角でより反射率が低く抑えられていることがわかります。
 *;SolidSpec-3700シリーズ用特殊付属品

s偏光での測定結果

Fig.1 s偏光での測定結果

p偏光での測定結果

Fig.2 p偏光での測定結果

詳細は可変角絶対反射測定装置のご紹介をご参照ください。

シリコンウェハ鏡面の様々な入射角での絶対反射スペクトル測定

シリコンウェハの絶対反射スペクトル

Fig.3 シリコンウェハの5°,20°,45°,60°の絶対反射スペクトルと600nmの計算値(○印)

SolidSpec-3700に可変角絶対反射測定装置を取り付けることにより,5°~70°の間の任意の入射角での絶対反射測定が可能となります。Fig.3はシリコンウェハ鏡面の測定結果ですが,入射角が大きくなるにつれて s偏光の反射率が増大し,p偏光の反射率は減少しました。 また,シリコン(Si)の複素屈折率(n+ik)のn,k値を用い,600nmでの計算値を実測値と比較すると良い一致を示しました。

詳細はアプリケーションニュース No.A394(PDF,456kB)をご参照ください。
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可変角絶対反射測定装置を用いた レーザー用反射防止膜と高反射膜の測定

固体イエローレーザー高反射膜の絶対反射スペクトル

Fig.4 固体イエローレーザー高反射膜の5°絶対反射スペクトル

SolidSpec-3700に可変角絶対反射測定装置を取り付け,固体イエローレーザー内部に用いられる機能性多層膜(反射防止膜および高反射膜)を評価しました。固体イエローレーザーは810 nmの励起光を使用し,共振器内レーザー媒質で1116 nm光を増幅して波長変換素子(1/2λ光に変換する)を通すことで黄色558 nm光を出力します。Fig.4は共振器部分に使用される高反射膜の5°絶対反射スペクトルですが,これよりこの膜はレーザー発振波長である1116 nm光を損失なく反射し,同時にレーザー励起の810 nm光を透過することが分かります。

詳細はアプリケーションニュース No.A390(PDF,310kB)をご参照ください。

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オートXYステージを用いた膜の面内透過率分布測定

面内透過率分布(248nm)

Fig.5 248nmの面内透過率分布

半導体分野で使用される特殊膜(163×160mm)の位置による透過率の違いを調べるため,オートXYステージを用いて50箇所の透過データを自動測定しました。 今回の測定ではマスクを用いて光束を2mmφに絞りました。

詳細はアプリケーションニュース No.A373(PDF,232kB)をご参照ください。

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深紫外におけるマスクブランクの透過測定例

SolidSpec-3700DUV マスクブランクの透過スペクトル

Fig.6 積分球使用時(窒素パージ有)のマスクブランクの透過スペクトル

Fig.7 直接受光ユニットオプション使用時(窒素パージ無)のマスクブランクの透過スペクトル

SolidSpec-3700/3700DUVは,3種の検出器搭載により,深紫外から近赤外領域まで高感度化をはかった紫外可視近赤外分光光度計です。 3700DUV型は深紫外測定を強化したSolidSpecです。 Fig.6に積分球使用時(窒素パージ有),Fig.7に直接受光ユニットオプション使用時(窒素パージ無)のマスクブランクの透過スペクトルを示しました。 ノイズレベルが低く,175nmからの測定が可能です(直接受光ユニット時は最短165nm)。

詳細はアプリケーションニュース No.A367
(PDF,307kB)をご参照ください。

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