SolidSpec-3700/3700DUV

深紫外から近赤外域まで高感度測定が可能

超大形試料室 -幅広い試料に対応-

SolidSpec-3700/3700DUVは,大形試料を小さくカットしないでそのまま非破壊測定するために,超大形試料室を装備しています。 測定可能な最大試料は幅700mm×奥行き560mmです。 また,300mmの円盤状または角形試料の全面を測定することができます。
3次元光学系(水平光学系+垂直光学系)を採用していますので,試料を横置きにしたまま特別な試料ホルダを使わずに,透過,反射測定が可能です。

開口部とオートXYステージ

開口部とオートXYステージ(模式図)

超大型試料室正面

12インチウエハをセットしたオートXYステージ

自動測定・面内分布測定

SolidSpec-3700/3700DUV専用に開発されたオプションのオートXYステージを使用すると,窒素パージ状態を保ったまま,あらかじめ設定された任意位置での自動多点測定が可能となります。

12インチウエハ上のSiO2膜の反射スペクトル

12インチウエハ上のSiO2膜の反射スペクトル

12インチウエハ上のSiO2膜厚

12インチウエハ上のSiO2膜厚

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