SolidSpec-3700/3700DUV

深紫外から近赤外域まで高感度測定が可能

短波長 -最短波長165nmの深紫外領域を測定-

ArFエキシマレーザーに代表される半導体製造露光装置の照射レーザー短波長化に伴い,深紫外領域での光学材料の透過率や反射率の測定要求が高まっています。 SolidSpec-3700DUVでは,積分球使用時でも175~2600nmの範囲で測定可能で,オプションの直接受光ユニットDUVを取り付けると165~3300nmの範囲で測定可能となります。

SolidSpaecは試料室を窒素パージし,深紫外の光透過を向上します

190nm以下の深紫外光は空気中の酸素により吸収されます。 この波長領域で測定を行うためには分光器だけではなく,試料室や光源部,検出器部の光路上を十分に窒素ガスでパージする必要があります。 SolidSpec-3700DUVでは各ユニットにパージ吸入口を持つため高精度のパージが可能で,試料交換時のパージ時間の短縮と共に,深紫外での高感度・低迷光化を達成しました。
また,深紫外領域の測定を行うためには検出器の窓材や積分球内壁材料に深紫外を吸収しない材料を使用する必要があります。 SolidSpec-3700DUVは,石英材料を窓板に使用したPMT(光電子増倍管)とD2ランプ,および深紫外まで高反射率特性を持つ特殊樹脂を内壁に使用した積分球の使用により,高精度測定が行えます。

深紫外領域での高感度・低迷光測定

石英板の深紫外領域での吸収が明瞭に確認できます

深紫外領域において高精度の測定を行うためには,十分な光量と低迷光が必要となります。 右図は,直接受光ユニットDUVを取付けて測定した石英の透過スペクトルですが,十分に窒素パージしたSolidSpec-3700DUVでは,ノイズが小さく,石英の深紫外領域での吸収が明瞭に確認できます。

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