Hyper Vision HPV-X2

高速度ビデオカメラ

撮像例:産業機器分野

産業機器

・ 溶接装置や工作機器の加工過程観察
・ 生産設備の動作エラー解析

エッチング装置やスパッタリング装置などのプラズマ応用機器のプラズマの挙動,レーザ加工機、放電加工機,切削加工機の加工過程などの高速現象の観察・観測に高速度カメラが利用されています。

レーザアブレーション成膜装置

レーザパルスを標的物質に照射すると,物質表面がはぎ取られ(アブレーション),プルームと呼ばれる発光を伴った粒子が飛び出します。レーザアブレーション成膜装置はこの現象を利用しており,膜を形成したい基板を標的物質と対向して配置し,アブレーションによって発生した粒子を基板上へ堆積して製膜します。画像は左から水平に照射されたレーザパルスによるプルームの発生・消滅過程を観察したものです。

(京都大学・田部研究室ご提供)

撮影速度:1,000万コマ/秒
視野幅:約50 mm

レーザアブレーション成膜装置

レーザアブレーション成膜装置

 

 

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