SPM-8100FM 主な仕様と装置外観

走査型プローブ顕微鏡 (Scanning Probe Microscope)

主な仕様

1.SPMユニット

分解能 XY:0.2 nm,Z:0.01 nm 
SPMヘッド 変位検出系 光源/光てこ/検出器
光源 レーザーダイオード
(635 nm,5 mWmax,On/Off可能)
試料交換中もカンチレバーに対して連続照射
検出器 フォトディテクター
変位換算ノイズレベル 20fm/√Hz以下
スキャナ 駆動素子 チューブ型ピエゾ素子
最大走査範囲 10 μm × 10 μm × 1 μm(X・Y・Z)
ステージ 試料最大形状 Φ38 mm × 8 mm
試料交換方式 ヘッドスライド機構
試料固定方式 マグネットによる固定
XYステージ 10 mm × 10 mm
Z軸粗動機構 方式 ステッピングモーターによる全自動機構
最大可動範囲 10mm
光学顕微鏡 CCD 素子サイズ:1/3インチ
有効画素数:1024×768
  レンズ 作動距離:65mm
光学倍率:4倍
照明 同軸落射照明
除振機構 除振台 SPMユニットに内蔵

2.制御ユニット

コントロールユニット フィードバック デジタル制御方式
通信インターフェイス 1000Base-T,TCP/IPプロトコル
ドライバユニット X・Y軸制御 -211~+211 V/16 bit
Z軸制御 -211~+211 V/16 bit
アナログユニット 入力電圧 -10~10 V
分解能 16 bit
サンプリング周波数 200 kHz
入力信号 8系統

3.データ処理装置

ホストコンピュータ メインメモリ 16 GB以上
外部記憶装置 内蔵ハードディスク 250 GB以上,  CD-RWドライブ 1基
通信インターフェース 1000Base-T,TCP/IPプロトコル
OS Windows10 Pro 64bit 日本語版
モニター パネル 23インチワイドTFT液晶, 表示画素 1920 × 1080ピクセル

4.ソフトウェア

オンライン 観察画面 最大8画面 同時表示可能
走査中の断面形状の表示が可能
走査モード XY,ZX,ZXY 切替可能
コントロール画面 観察条件の設定が可能
オフライン 一覧表示 サムネイルによる一覧表示が可能
画像表示,解析 画像データの表示,画像処理・解析が可能
三次元マッピングデータの表示,解析が可能

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装置外観

装置外観

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