WET-SPMシリーズ

雰囲気制御走査型プローブ顕微鏡

雰囲気制御走査型プローブ顕微鏡

制御雰囲気中でのSPM観察に

走査型プローブ顕微鏡 SPM-9700HTは、オプションの雰囲気制御チャンバーを追加することにより、雰囲気制御走査型プローブ顕微鏡WET-SPMシリーズにアップグレードできます。これは、島津独自のヘッドスライドメカニズム、前面操作、全自動アプローチ、オープンヘッド設計など、チャンバー内で使用されることを最大限考慮されているSPM-9700HTだけの特長です。 嫌気,嫌水試料に最適です。
チャンバーはグローブボックスとなっているため、雰囲気制御下での試料調製(劈開、洗浄、乾燥など)や交換ができます。 オプションの組み合わせにより、特定ガス雰囲気中でのSPM観察ができるだけでなく、試料の加熱・冷却、雰囲気湿度・温度の制御、試料へのガス吹き付けなどをしながらSPM観察を行なうことができます。 WET-SPMは、まさに表面のダイナミックな世界をnmスケールでお届けする画期的なシステムです。

雰囲気制御チャンバー CH-II/CH-III

雰囲気制御チャンバー CH-II/CH-III

雰囲気制御チャンバーCH-II(TMPなし)/CH-III(TMP付き)は、SPM-9700HT専用に設計された、除振台一体型チャンバーシステムです。SPMユニットは、チャンバー背面から簡単に中へ設置することができ、大気型SPMから雰囲気制御SPMとしての応用が広がります。試料だけでなく周辺環境全体を制御できるため、制御雰囲気下で試料処理を施し、そのままSPM観察することができます。 (日本国特許第2612395号、米国特許No.5200616)。 大型ビューポートと両袖のグローブにより、チャンバー内部で自由な前処理が可能です。 さらに、雰囲気制御チャンバーに対応するオプションを追加することにより、in-situ SPMとして、温度、湿度、圧力、光量、濃度などの物理量を変化させた時の表面変化を追跡することが可能になります。 SPMユニットはチャンバー背面から容易に出し入れすることができますので、大気型、雰囲気制御型の両方のSPMとしてお使い頂くことができます。

チャンバー構成図

チャンバー構成図

主な仕様

ポート
グローブポート 2個
大型ビューポート 1個
ユニット導入ポート 1個
試料導入ポート 1個
排気ポート 1個
予備ポート 4個
 
排気系
使用ポンプ ロータリーポンプ(160L/min)
  ターボ分子ポンプ(50L/sec)(CH-IIIのみ)
ガス導入機構 一系統自動制御
電流導入端子(7ピン) 16個( 予備を含む )
除振機構 空気ばね式除振機構一体型
※外観および仕様は改良のため、予告なく変更することがあります。

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