SPM-9700

走査型プローブ顕微鏡 (Scanning Probe Microscope)

超微小硬度計複合型SPMシステム SPM+TriboScope

SPM-9700に米国Hysitron社製TriboScopeを複合することにより極薄膜の硬度試験やスクラッチ試験が可能となります。

超微小硬度計 インデントモジュール

超微小硬度計 インデントモジュール

SPMヘッドと交換することで、超微小硬度測定と、スクラッチ試験ができます。

特長

  • 光学顕微鏡での圧痕観察が難しいμm以下の押し込みでの機械特性の評価が可能となり、薄膜試料の評価に最適です。
  • 押し込み前後の同一場所での表面形状像の観察が可能です。
    これにより、試料位置の特定、局所分析が可能です。
最大荷重 10mN以上
荷重bit分解能 3nN @1μN
最大押し込み深さ 4μm以上
変位bit分解能 0.0004nm

押し込み前→押し込み中→押し込み後

ダイヤモンド製圧子を微小な荷重で試料に押し込み、同時に押し込み荷重と変位を測定し、得られた荷重変位曲線から、微小領域の弾性率と硬さを算出します。

鉄鋼材料の表面形状像

鉄鋼材料の表面形状像
Cementite相(明)、Ferite相(暗)
像中▲は圧子を押し込んだ圧痕

押し込み結果 Cementite相(青) Ferite相(赤)

押し込み結果
Cementite相(青)
Ferite相(赤)

超微小硬度計 ラテラルフォースモジュール

超微小硬度計 ラテラルフォースモジュール

SPMヘッドと交換することで、超微小硬度測定と、スクラッチ試験ができます。

最大水平荷重 2mN以上
水平荷重bit分解能 0.5μN
最大水平変位 10μm以上
変位bit分解能 3nm
マイクロスクラッチ

マイクロスクラッチ

磨耗試験

磨耗試験

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