SPMによる薄膜断面の観察

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◆アプリケーションニュース  SPM(走査型プローブ顕微鏡)No.D8

SPMによる薄膜断面の観察
Cross sectional observation of thin films by SPM
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[はじめに]
薄膜の断面を形状観察することは、表面を観察する以上に興味のあることといえます。先ず、断面から膜厚を知ることはその目的の第一でしょう。次に、ベースとなる基板との界面の状態、あるいは、複数の薄膜層間の界面の状態や層内の粒状性などがあります。さらに、異種薄膜との層間接着や拡散性を知る上で、断面観察は重要な観察手法と言うことができます。しかし、従来は、断面やエッジ部の観察において、微小探針を使用したSPMは、探針が折れたり、エッジ部での制御が難しく困難とされ、ほとんど利用されていませんでした。
そこで、今回、走査型プローブ顕微鏡(Scanning Probe Microscope:SPM)を用いて薄膜断面の観察を行い、充分可能であることを、データを添えてご紹介いたします。
断面観察には、サンプリングから測定までいくつかのノウハウが必要ですが、併せてご紹介いたします。
試料としては、Si基板上にSi酸化膜や有機膜を形成したものと、ガラス基板上にITO膜(透明導電膜)を結晶成長させたものを取り上げました。

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