精密格子板のSTM観察と断面測定

SPM資料室
アプリケーション

◆アプリケーションニュース  SPM(走査型プローブ顕微鏡)No.D1

精密格子板のSTM観察と断面測定
STM Observation and Cross Section Measurement of Precision Grid Plates
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[はじめに]
走査型トンネル顕微鏡(STM)は、その卓越した分解能を最大の特長としますが、ほかにも豊富な表示法、容易な断面測定といった従来の測定法にない特長を有しています。ここでは島津精密格子板の観察例により、これらの特長を紹介します。
島津精密格子板は、当社のホログラフィック露光技術と反応性イオンビーム・エッチング技術により製造されたグレーティングの一種で、並行溝が多数配列した周期構造をとっています。島津精密格子板は周期誤差が極めて少なく、また溝深さも規定しているので、水平と鉛直の両方向の測定標準として利用されています。
(アプリケーションニュース本文中の「雰囲気制御走査型トンネル顕微鏡WET-901」は販売を終了しておりますが、後継機種のSPMシリーズで同様のアプリケーション取得が可能です)

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