SPM観察例 ナノテク(No.14) DLC膜へのスクラッチ

断面形状解析から深さ 20 nm を計測

硬質のDLC（ダイヤモンドライクカーボン）膜の表面に、カンチレバーで矩形状にスクラッチを行い、広さ□2μm、深さ20nmの凹みを形成しました。
スクラッチの条件は、カンチレバーのバネ定数と荷重、および走査回数により調整しました。走査モードはLFMです。
本例では、DLCをコートしたバネ定数80 N/mのカンチレバーを用いて、30μNの荷重をかけ、□2μmの領域を４回スクラッチしました。　
その後、通常のAFM走査に戻し、□5μm の視野を観察しました。
結果を三次元形状像と断面形状解析で示します。

データご提供：名古屋大学大学院工学研究科　梅原研究室