観察例
カーボンナノチューブによる
ライン&スペースの高アスペクト観察例
カーボンナノチューブによるライン&スペースの高アスペクト観察例
従来の探針では、このようなアスペクト比の高い試料の場合、底まで探針が届かないため、SPM測定は困難でした。しかし、カーボンナノチューブを採用した探針の開発で、深い底の観察が可能になりました。SAWフィルターの品質管理などに応用されています。
 

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