観察例
 
シリコンウェハ観察例
シリコンウェハ観察例
単結晶シリコンウェハ表面の観察像です。ベアの表面(左)に比べてエッチング後(右)は表面粗さが増加していることが定量的に比較できます。
 
島津製作所 表面/組成分析機器 SPM資料室 >>