観察例
Si上のSiO2パターン観察例
Si上のSiO2パターン観察例
表面形状像(左)で明るく見える部位がSiO2です。電流像(右)では明暗が逆転します。基板上にも電流の流れない部分があることがわかります。(電流測定システム使用)
 

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