Si上のSiO2パターン観察例

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観察例

 

Si上のSiO2パターン観察例
Si上のSiO2パターン観察例
表面形状像（左）で明るく見える部位がSiO2です。電流像（右）では明暗が逆転します。基板上にも電流の流れない部分があることがわかります。（電流測定システム使用）
 
島津製作所 表面/組成分析機器 SPM資料室 >>