SFT-4500

ナノサーチ®顕微鏡 (Nano Search® Microscope)

 

アプリケーション

DVD表面

DVD表面
(走査範囲5µm×5µm 3D画像)
DVD記録面のピットと表面状態が良好に観察されています。

ビッカース圧痕

ビッカース圧痕
(走査範囲 20µmm×20µmm 3D画像)
圧痕の頂角から伝搬しているクラックが鮮明に観察されています。

TiO2単結晶基板

TiO2単結晶基板
(走査範囲 5µmm×5µmm 3D画像)
約0.3nmのTiO2(酸化チタン)の原子ステップが観察されています。

ICパターンホール

ICパターンホール
(走査範囲 4µmm×4µmm 3D画像)
パターン表面に付着した微小な異物(白い部分)が観察されています。

ポリマーフィルム

ポリマーフィルム
(走査範囲 10µmm×10µmm 3D画像)
フィルム表面の傷(中央左)が観察されています。

アルミニウム陽極酸化皮膜

アルミニウム陽極酸化皮膜
(走査範囲 1.8µmm×1.8µmm 表面電位(KFM)モード左: 高さ像 右:電位像)
アルミニウム陽極酸化皮膜の表面形状(左)と同時に,表面電位(右)を観察しました。形状像には表れていない網目状の構造が電位像で明らかになりました。

カラー印刷

カラー印刷

乳酸菌

乳酸菌

トナー粒子

トナー粒子

アプリケーションデータ(従来機 SFT-3500にて採取)

 

ナノサーチ顕微鏡を使った課題解決事例

ナノサーチ顕微鏡の観察データをご紹介します。

*お客様独自の工夫による前処理、付加装置、または特注機能を用いて取得したデータが含まれます。
標準仕様のナノサーチ顕微鏡で常に同等の観察ができるとは限りませんのでご了承ください。

■ナノサーチ顕微鏡を使った課題解決事例

7.リチウムイオン電池電極の3次元高分解能観察 New!
   (日立化成株式会社のWebサイトに掲載されているPDFファイルが開きます)
 

6.クローズドループステージによる広い領域でナノメートルの3次元形状をSPM観察 New!

5.ナノスケール欠陥のレーザー微分干渉観察とSPM観察 New!

課題解決事例 4: エクソソーム観察像と断面プロファイル解析

4.エクソソームの可視化とその物性測定 New!

課題解決事例 3: 細菌の芽胞をフォースカーブ測定し硬さを算出

3.細胞の硬さから分かること
-ナノサーチ顕微鏡による細胞の耐熱性,耐UV性研究の新しい評価手法-

課題解決事例 2: ソース-ドレイン間のレーザー顕微鏡像~SPM高さ計測~電流像計測

2.大型ウェハ基板上のマイクロパターンニング配線微小電極のリーク電流を測る

課題解決事例 1: 細胞のLSM像(x200~6000倍)で測定視野を絞り込み

1.「ミリ」レベルの視野から,「ナノ」レベルの観察対象を迷わず位置決め

関連製品

SFT-4500

SFT-4500は,歴史と伝統を持つ光学顕微鏡と最先端の走査型レーザー顕微鏡(LSM),さらにナノオーダーの測定を可能にする走査型プローブ顕微鏡(SPM)を一台に集約。多様な試料に対応する,新時代の観察・測定装置です。
数十倍から百万倍の超ワイド領域において,ミリからナノまでの観察・測定をたった1台で実現します。光学顕微鏡,レーザー顕微鏡,プローブ顕微鏡の切り替えを自在に行い,一度探したターゲット(観察対象物)を見失うことなく,素早く正確にプローブ顕微鏡で観察ができ,画像取得までの時間を大幅に短縮。一体型ならではのシームレスな操作性を実現しました。

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