SFT-4500

ナノサーチ®顕微鏡 (Nano Search®Microscope)

寸法図・仕様・その他

システム外観

システム外観
PCテーブルはオプションです。

ユニット寸法図(SFT-4500 本体)

ユニット寸法図(SFT-4500 本体)

組合せ寸法図

組合せ寸法図

レーザー顕微鏡OLS4000/OLS4100をナノサーチ顕微鏡 SFT-4500にアップグレードが可能

お使いのレーザー顕微鏡OLS4000またはOLS4100からナノサーチ顕微鏡SFT-4500へのアップグレードが可能です。アップグレード作業は現地で行うことができます。 詳しくは,販売店にお問い合わせください。

定期的な点検・校正で最良のコンディションを維持する保守契約サービス

SFT-4500には保守契約サービスが付属しています。ご購入後3年間,専任技術者が定期的に点検・校正を行い,最良のコンディションを維持しますので,安心してご使用頂けます。さらにオプションでご購入後5年間の保守契約サービスもご用意しております。両サービス共に,ご購入後8年間まで1年毎に延長更新することが可能です。

本体 仕様

LSM部 光源・検出系 光源:405 nm半導体レーザー
検出系:フォトマルチプライヤー
総合倍率 108~17,280X
ズーム 光学ズーム:1~8X
測定 平面測定 繰り返し性 100x :3σn-1=0.02 µm,50x:3σn-1=0.04 µm,20x:3σn-1=0.1 µm
正確さ 測定値の±2%以内
高さ測定 方式 レボルバ上下駆動方式
ストローク 10 mm
内蔵スケール 0.8 nm
移動分解能 10 nm
表示分解能 1 nm
繰り返し性 100x :σn-1=0.012 µm,50x:σn-1=0.012 µm,20x:σn-1=0.04 µm
正確さ 0.2+L/100 µm以下(L=測定長 µm)
カラー観察部 光源・検出系 光源:白色LED,検出系:1/1.8インチ200万画素単板CCD
ズーム デジタルズーム:1~8X
レボルバ 6穴電動レボルバ
微分干渉ユニット 微分干渉スライダ:U-DICR,偏光板ユニット内蔵
対物レンズ 明視野プランセミアポクロマート5X
LEXT専用プランアポクロマート20X,50X,100X
試料最大高さ 76 mm
XYステージ 100 × 100 mm(電動ステージ)
SPM部 動作モード コンタクトモード,ダイナミックモード,位相モード,電流モード*,表面電位(KFM)モード * ,磁気力(MFM)モード *
変位検出系 光てこ方式
光源 659 nm 半導体レーザー
検出器 フォトディテクター
最大走査範囲 X-Y:最大 30 µm × 30 µm,Z:最大 4.6 µm
カンチレバー取り付け カセット式カンチレバーホルダーによるワンタッチ取り付け。カンチレバー取り付け位置調整専用治具によるプリアライメントにより,ホルダー交換時の光学調整は不要
* オプションです。
システム 総質量 約440 kg(テーブルは除く)
入力定格 100-120 V/220-240 V,600 VA,50/60 Hz

対物レンズ 仕様

型式 倍率 視野 作動距離(W.D.) 開口数(N.A.)
MPLFLN5X 108~864X 2,560~320 µm 20.0 mm 0.15
MPLAPON20XLEXT 432~3,456X 640~80 µm 1.0 mm 0.60
MPLAPON50XLEXT 1,080~8,640X 256~32 µm 0.35 mm 0.95
MPLAPON100XLEXT 2,160~17,280X 128~16 µm 0.35 mm 0.9

カンチレバー 仕様

用途 型名 タイプ チップ数 カンチレバー 探針 材質 金属膜
コート
共振周波数
(kHz)
バネ定数
(N/m)
高さ
(µm)
先端半径
(nm)
探針/
レバー
探針コート/
反射コート
ダイナミックモード/
位相モード
OMCL-AC160TS-C3 標準シリコン 24 300 26 14 7 Si / Si 無し/Al
OMCL-AC160BN-A2 ハイアスペクトシリコン 12 300 42 9 8 Si / Si 無し/無し
OMCL-AC240TS-C3 低バネ定数シリコン 24 70 2 14 7 Si / Si 無し/Al
コンタクトモード OMCL-TR800PSA-1 標準窒化シリコン 34 73 / 24 0.57 / 0.15 2.9 15 SiN / SiN 無し/Au
表面電位モード OMCL-AC240TM-B3 電気測定用シリコン 18 70 2 14 15 Si / Si Pt/Al

• カンチレバー,探針の機械特性および寸法は代表値です
• カンチレバーは非常に小さく,目に入ったり,誤飲する危険があるので注意してください
• 電流モード,磁気力モードで使用するカンチレバーについては販売店にお問い合わせください
• 上記以外のカンチレバーもご用意しています。詳しくは販売店にお問い合わせください

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