SFT-4500

ナノサーチ®顕微鏡 (Nano Search®Microscope)

微小領域の表面粗さを非接触で測定

従来の線粗さ測定と,より情報量が多い面粗さ測定が可能

重要性が増す表面粗さ測定

重要性が増す表面粗さ測定
近年,工業製品の小型軽量化が進み,製品を構成する部品にもさらなる微細化が求められるようになりました。この部品の微細化に伴い,形状測定のみならず表面粗さ測定の重要性が高まっています。
このような市場のニーズを反映し,ISOで規定する三次元面性状測定機としてレーザー顕微鏡,原子間力顕微鏡(AFM)が加わりました(ISO25178-6)。これにより従来の接触式表面粗さ測定と同様に非接触表面粗さが公の評価基準として認められました。SFT-4500ではISOに準拠した粗さパラメーターを搭載しています。

面粗さ測定で粗さの分布や特徴を詳しく捉える

非接触表面粗さ測定では,線粗さに加えて面粗さを測定することができます。面粗さ測定では試料表面上で設定した領域の分布や特徴を捉えることができ,3D画像と照らし合わせた評価が可能です。SFT-4500ではレーザー顕微鏡機能による表面粗さ,プローブ顕微鏡による表面粗さがそれぞれ測定でき,試料や目的によって使い分けることができます。

面粗さ測定で粗さの分布や特徴を詳しく捉える

SFT-4500搭載 粗さパラメーター

パラメーターの互換性

SFT-4500は,触針式表面粗さ測定機と同様の粗さ(2次元)パラメーターを搭載しています。
触針式表面粗さ測定機と同様の操作性,互換性のある測定結果を得ることができます。

面曲線 Pp, Pv, Pz, Pc, Pt, Pa, Pq, Psk, Pku, Psm, PΔq, Pmr(c), Pδc, Pmr
粗さ曲線 Rp, Rv, Rz, Rc, Rt, Ra, Rq, Rsk, Rku, Rsm, RΔq, Rmr(c),Rδc, Rmr, RZJIS, Ra75
うねり曲線 Wp, Wv, Wz, Wc, Wt, Wa, Wq, Wsk, Wku, Wsm, WΔq, Wmr(c), Wδc, Wmr
負荷曲線 Rk, Rpk, Rvk, Mr1, Mr2
モチーフ R, Rx, AR, W, Wx, AW, Wte
粗さ(JIS1994) Ra(JIS1994), Ry, Rz (JIS1994), Sm, S, tp
その他 R3z, P3z, PeakCount

次世代のパラメーターへの対応

SFT-4500は,ISO25178準拠した粗さ(3次元)パラメーターを搭載しています。
面領域での評価を行うことで,より信頼性の高い解析が可能です。

振幅パラメーター Sq, Ssk, Sku, Sp, Sv, Sz, Sa
機能パラメーター Smr(c), Sdc(mr), Sk, Spk, Svk, SMr1, SMr2, Sxp
体積パラメーター Vv(p), Vvv, Vvc, Vm(p), Vmp, Vmc
横方向パラメーター Sal, Str

高精度カンチレバーが実現する高い信頼性

多彩なラインアップ

プローブ顕微鏡の平面分解能は探針(プローブ)の先端径により決まります。オリンパス(株)製カンチレバーは探針先端の尖りを安定した品質で保ち,高い信頼性を実現しています。また探針位置決めが容易な「TipView」構造や,ピンセットでつまみやすい「新コンセプトチップ」など独自のデザインにより精度だけでなく使いやすさにも優れています。
• カンチレバー製品カタログを別途用意しています。

さまざまなカンチレバーに対応。正確,簡単なカンチレバー交換

カンチレバーは使用頻度に応じて交換が必要です。SFT-4500では電動レボルバ,SPMヘッド,カンチレバーホルダーが厳密に調整されており,カンチレバーの位置が調整されたホルダーをSPMヘッドに挿入するだけでセットが完了します。カンチレバーとホルダーの位置調整は専用治具を使用するため,誰でも正確かつ簡単にできます。またさまざまなタイプのカンチレバーも同じ手順で交換ができ,観察,測定の効率が向上します。

さまざまなカンチレバーに対応。正確,簡単なカンチレバー交換

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