SFT-4500

ナノサーチ®顕微鏡 (Nano Search® Microscope)

複合型顕微鏡だからできること

走査型レーザー顕微鏡を搭載し,多様な試料に柔軟に対応

SFT-4500は光学顕微鏡,レーザー顕微鏡,プローブ顕微鏡それぞれの優れた機能を持った複合型顕微鏡です。特にレーザー顕微鏡はミクロンからサブミクロンの微小領域の表面形状測定に優れた性能を発揮し,シームレスな測定をプローブ顕微鏡とともに実現します。これにより多様な試料に柔軟に対応し,今まで扱った経験のない試料に対しても最適なアウトプットを得ることができます。

85度の急峻な角度にも対応

85度の急峻な角度にも対応
高N.A.の専用対物レンズと,405nmレーザーの性能を最大限に引き出す専用光学系により,SFT-4500は,今まで測ることのできなかった急峻な角度を持つ試料でも,測定することが可能です。

狭い谷部や細かい形状の測定も可能

狭い谷部や細かい形状の測定も可能
短波長405µmのレーザー光と高N.A.の専用対物レンズの採用により,最高0.12µmの平面分解能を実現。試料表面のサブミクロンの測定が可能になります。さらに高精度リニアスケールと輝度検出技術により,サブミクロンから数百ミクロンの高さの違いを検知することが可能です。またレーザー顕微鏡による測定では測定機の2つの指標である「正確性」(真値への近さ)と「繰り返し性」(ばらつきの小ささ)の両方を性能保証しています。

広範囲のエリアから任意の取り込み箇所を指定

高倍率画像では視野範囲が狭くなりますが,ステッチング機能により,最大625枚までの画像を貼り合わせ,高分解能かつ広視野範囲の画像データを得ることができます。さらに、この広視野画像で3D表示や3D計測を行うことが可能です。

広範囲のエリアから任意の取り込み箇所を指定

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