SFT-4500

ナノサーチ®顕微鏡 (Nano Search® Microscope)

SFT-4500が可能にするシームレスな観察・測定

[見つける]観察対象をすぐに見つけることができる

光学顕微鏡の多彩な観察法によって素早く観察対象を探し出す

光源に白色LED光源を採用し,色再現性に優れた高解像カラー画像が観察できます。4本の対物レンズを搭載し低倍から高倍までの観察をカバーします。光学観察の特長を活かし,SFT-4500では,最も使われる明視野観察(B)をはじめ,微細な凹凸にコントラストをつけて立体的に可視化する微分干渉観察(DIC),試料の偏光特性が色で表現される簡易偏光観察が可能です。また露光時間を変えて複数枚の画像を撮影,合成することでバランスのよい明るさ,テクスチャーを強調した画像を表示するHDR機能(ハイダイナミックレンジ機能)を装備。多彩な観察方法で観察対象を素早く探します。

ICパターン

ICパターン

BF 明視野
広く使われている観察方法です。試料に忠実な色で観察ができます。コントラストのある試料の観察に適しています。

ICパターン

ICパターン

DIC 微分干渉
明視野では見えない試料の微小な段差にコントラストをつけることにより,立体的に可視化します。金属組織,ハードディスクやウエハ研磨表面のような鏡面上の傷や異物観察などに適しています。

ダイヤモンド砥粒

ダイヤモンド砥粒

簡易偏光
簡易偏光偏光(特定の振動方向をもつ光)を照射し,試料の偏光特性(屈折率など)を可視化します。金属組織,鉱物,半導体材料などの観察に適しています。

インクジェットドット

インクジェットドット

HDR ハイダイナミックレンジ
露光時間を変えて複数枚の画像を取得し,合成することで,明るい部分、暗い部分をバランスよく観察できます。またテクスチャー(表面状態)を強調することで精細な観察ができます。

レーザー顕微鏡によって,光学顕微鏡で見えないものが見える

短波長405nmのレーザー光源と高N.A.の専用対物レンズの採用により,高い平面分解能を実現。光学顕微鏡では見えなかった観察対象を鮮明な画像で観察することができます。レーザー微分干渉(DIC)ではナノレベルの微小凹凸のライブ観察も可能です。

[近づく]観察対象を素早く、正確にSPMで観察

観察対象を見失わないシームレスな観察を実現

低倍から高倍をカバーする4本の対物レンズと小型SPMユニットを電動レボルバに搭載。光学顕微鏡またはレーザー顕微鏡の50倍,100倍のライブ観察ではSPM走査範囲が視野中心に表示されるため,観察ポイントをこの位置に合わせた後,プローブ顕微鏡に切り替えるだけで観察対象に正確にアプローチすることができます。これにより目的の画像を短時間で取得でき,作業の効率化,またカンチレバーの消耗を低減することができます。

観察対象を見失わないシームレスな観察を実現

SPM観察の流れ

SPM観察に迷わず切り替えられるガイダンス機能
カンチレバーの取り付けや走査範囲の設定など,プローブ顕微鏡で観察をするために必要な準備はガイダンス画面に従って行うことができます。これにより経験の少ない人でも安心して操作ができます。

[ナノを測る]簡単な操作で,迅速に測定結果が得られる
新開発小型SPMヘッド

新開発小型SPMヘッド

ノイズ低減を実現した新開発小型SPMヘッド
SFT-4500では電動レボルバに装着する対物レンズ型SPMヘッドを採用。対物レンズとカンチレバー先端を同軸,同焦に配置しているため,SPM観察に切り替えても観察ポイントを見失うことがありません。さらに新開発した小型SPMヘッドは剛性を高めることで従来製品に比べて画像ノイズを低減し,追従性の向上を実現しました。

ナビゲータ機能でSPM画像を自在に拡大

ナビゲータ機能によりプローブ顕微鏡で取得した画像の必要な部分を,さらに倍率を上げて観察することができます。画像上で拡大範囲をカーソルにより設定し走査を開始するだけで,目的のSPM画像が取得できます。走査範囲は自在に設定できるため観察・測定の効率が大幅に向上します。

ナビゲータ機能 10µm×10µmの画像上で3.5µm×3.5µmの範囲を拡大

ナビゲータ機能 10µm×10µmの画像上で3.5µm×3.5µmの範囲を拡大

曲率測定(ハードディスクのピット)

曲率測定(ハードディスクのピット)

さまざまな目的に対応した解析機能

各種測定モードで取得した画像は目的に応じた解析ができ,測定結果はCSV形式で出力できます。SFT-4500では以下の解析機能があります。

  • 断面形状解析(曲率測定,夾角測定)
  • 粗さ解析
  • 形態解析(面積,表面積,体積,高さ,ヒストグラム値,ベアリングレシオ値)
  • 平均段差測定(ライン指定,面積指定)
  • 粒子解析(オプション)

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