OLS5000

3D測定レーザー顕微鏡

あらゆる表面の真の形状を捉える

OLS5000 Value 1

OLS5000 では,独自の先進技術を搭載し,
全てのコンポーネントをOLS5000 専用設計とすることで,
あらゆる表面の真の形状を捉えることを可能としました。
お客様の厳しい要求に応え,誰もが納得できる,
説得力のあるデータを提供いたします。

「真の形状を捉える」を実現するキーテクノロジー

 

   視野の全領域を正しく捉える
1.  OLS5000専用レンズ

一般のレンズは収差の影響で
周辺部が正確に測定できない

周辺部の歪みが大きくなる

OLS5000専用レンズは
周辺部も正確に測定できる

周辺部の歪みを極限まで低減している

   急斜面の形状も逃さず捉える
2.  4Kスキャンテクノロジー

画像補正なしで垂直に近い斜面とナノに迫る微小段差を検出可能

他社製品:急斜面の形状を検出できない   

OLS5000:画像補正なしで検出できている(128x128 µm)

   取得データの信頼性を自動判定する
3.  スマートジャッジ

スマートジャッジ:オフ   

スマートジャッジ:オン

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