OLS5000

3D測定レーザー顕微鏡

レーザー顕微鏡が提供するソリューション

従来の測定機は…

光学顕微鏡・デジタルマイクロスコープ

ラフな3D形状しか
把握できない

微細な欠陥が見えない

測定結果の妥当性が分からない

レーザー顕微鏡

光学顕微鏡・デジタルマイクロスコープ

正確な微細
3D観察・測定

優れた解像度(平面分解能 0.12 µm)

国家標準に紐付いたトレーサブル測定

従来の測定機は…

触針式表面粗さ測定機

サンプルに傷がつく

1ラインの測定で情報が不十分

目視による位置決めで,微小エリアの測定が困難

レーザー顕微鏡

触針式表面粗さ測定機

非接触なのでサンプルに傷がつかない

情報量が多く,信頼性の高い面粗さ測定が可能

高精細拡大観察による位置決めで,簡単に微小エリアを測定

従来の測定機は…

白色干渉計

荒れた面の形状を
捉えるのが難しい

原理上観察画像の見えが悪く,
微細な欠陥を見つけるのが困難

サンプルの傾き調整に手間がかかる

レーザー顕微鏡

白色干渉計

微細な形状も捉えられるので荒れた面も確実に取得可能

クリアな高解像観察像で微細な欠陥の位置決めも可能

サンプルを置くだけで測定開始

従来の測定機は…

電子顕微鏡(SEM)

色情報が得られない

サンプルの破壊や前準備が必要

3D形状を測れない

レーザー顕微鏡

電子顕微鏡(SEM)

高精細カラー観察

非破壊・前準備不要

正確な微細3D測定

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