OLS4100

3D測定レーザー顕微鏡

ラインアップ

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ユニット寸法図 / 組合せ寸法図

ユニット寸法図 / 組合せ寸法図
ナノサーチ顕微鏡 SFT-4500

ナノサーチ顕微鏡 SFT-4500

ミリからナノまで1台の顕微鏡でシームレスな観察・測定が可能です。 OLS4100の3D測定レーザー顕微鏡の簡単・高速・広範囲の特長に加えてプローブ顕微鏡の機能を搭載しています。また,OLS4100をSFT-4500の仕様へアップグレードすることも可能です。

詳しくは,販売店にお問い合わせください。

使用環境に合わせた設置時の最終調整・校正

測定機において使用される環境での精度確認は非常に重要です。OLS4100は,専任技術者が使用環境に最適な調整と校正を現地にて行い,校正結果を書面で提出するので,信頼性の高い測定が可能となります。

OLS4100 各種証明書・成績書

定期的な点検・校正で最良のコンディションを維持する保守契約サービス

保守契約サービスの概要
定額料金で定期点検,校正,修理を行います。新規購入時より最長8年まで延長することが可能です。
【対象機種】 OLS4100-SAT(標準モデル),OLS4100-LAT(300 mm電動ステージモデル)

保守契約サービスプランの詳細

安心の保守契約サービスプラン

※価格など詳細は,販売店にお問い合わせください。

OLS4100仕様

本体 LSM部 光源・検出系 光源:405 nm半導体レーザー,検出系:フォトマルチプライヤー
総合倍率 108~17,280X
ズーム 光学ズーム:1~8X
測定 平面測定 繰り返し性 100x :3σn-1=0.02 µm,50x:3σn-1=0.04 µm,20x:3σn-1=0.1 µm
正確さ 測定値の±2%以内
高さ測定 方式 レボルバ上下駆動方式
ストローク 10 mm
内蔵スケール 0.8 nm
移動分解能 10 nm
表示分解能 1 nm
繰り返し性 100x:σn-1=0.012 µm,50x :σn-1=0.012 µm,20x:σn-1=0.04 µm
正確さ 0.2+L/100 µm以下(L=測定長 µm)
カラー観察部 光源・検出系 光源:白色LED,検出系:1/1.8インチ200万画素単板CCD
ズーム デジタルズーム:1~8X
レボルバ 6穴電動レボルバ
微分干渉ユニット 微分干渉スライダ:U-DICR,偏光板ユニット内蔵
対物レンズ 明視野プランセミアポクロマート5X,10X LEXT専用プランアポクロマート20X,50X,100X
Z焦準部ストローク 100 mm
XYステージ 100 x 100 mm(電動ステージ),オプション:300 x 300 mm(電動ステージ)
対物レンズ 型式 倍率 視野 作動距離(W.D.) 開口数(N.A.)
MPLFLN5X 108~864X 2,560~320 µm 20.0 mm 0.15
MPLFLN10X 216~1,728X 1,280~160 µm 11.0 mm 0.30
MPLAPON20XLEXT 432~3,456X 640~80 µm 1.0 mm 0.60
MPLAPON50XLEXT 1,080~8,640X 256~32 µm 0.35 mm 0.95
MPLAPON100XLEXT 2,160~17,280X 128~16 µm 0.35 mm 0.95

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