OLS4100
3D測定レーザー顕微鏡
ラインアップ

ユニット寸法図 / 組合せ寸法図


ナノサーチ顕微鏡 SFT-4500
ミリからナノまで1台の顕微鏡でシームレスな観察・測定が可能です。 OLS4100の3D測定レーザー顕微鏡の簡単・高速・広範囲の特長に加えてプローブ顕微鏡の機能を搭載しています。また,OLS4100をSFT-4500の仕様へアップグレードすることも可能です。
詳しくは,販売店にお問い合わせください。
使用環境に合わせた設置時の最終調整・校正
測定機において使用される環境での精度確認は非常に重要です。OLS4100は,専任技術者が使用環境に最適な調整と校正を現地にて行い,校正結果を書面で提出するので,信頼性の高い測定が可能となります。

定期的な点検・校正で最良のコンディションを維持する保守契約サービス
保守契約サービスの概要
定額料金で定期点検,校正,修理を行います。新規購入時より最長8年まで延長することが可能です。
【対象機種】 OLS4100-SAT(標準モデル),OLS4100-LAT(300 mm電動ステージモデル)
保守契約サービスプランの詳細
※価格など詳細は,販売店にお問い合わせください。
OLS4100仕様
本体 | LSM部 | 光源・検出系 | 光源:405 nm半導体レーザー,検出系:フォトマルチプライヤー | |
総合倍率 | 108~17,280X | |||
ズーム | 光学ズーム:1~8X | |||
測定 | 平面測定 | 繰り返し性 | 100x :3σn-1=0.02 µm,50x:3σn-1=0.04 µm,20x:3σn-1=0.1 µm | |
正確さ | 測定値の±2%以内 | |||
高さ測定 | 方式 | レボルバ上下駆動方式 | ||
ストローク | 10 mm | |||
内蔵スケール | 0.8 nm | |||
移動分解能 | 10 nm | |||
表示分解能 | 1 nm | |||
繰り返し性 | 100x:σn-1=0.012 µm,50x :σn-1=0.012 µm,20x:σn-1=0.04 µm | |||
正確さ | 0.2+L/100 µm以下(L=測定長 µm) | |||
カラー観察部 | 光源・検出系 | 光源:白色LED,検出系:1/1.8インチ200万画素単板CCD | ||
ズーム | デジタルズーム:1~8X | |||
レボルバ | 6穴電動レボルバ | |||
微分干渉ユニット | 微分干渉スライダ:U-DICR,偏光板ユニット内蔵 | |||
対物レンズ | 明視野プランセミアポクロマート5X,10X LEXT専用プランアポクロマート20X,50X,100X | |||
Z焦準部ストローク | 100 mm | |||
XYステージ | 100 x 100 mm(電動ステージ),オプション:300 x 300 mm(電動ステージ) |
対物レンズ | 型式 | 倍率 | 視野 | 作動距離(W.D.) | 開口数(N.A.) |
MPLFLN5X | 108~864X | 2,560~320 µm | 20.0 mm | 0.15 | |
MPLFLN10X | 216~1,728X | 1,280~160 µm | 11.0 mm | 0.30 | |
MPLAPON20XLEXT | 432~3,456X | 640~80 µm | 1.0 mm | 0.60 | |
MPLAPON50XLEXT | 1,080~8,640X | 256~32 µm | 0.35 mm | 0.95 | |
MPLAPON100XLEXT | 2,160~17,280X | 128~16 µm | 0.35 mm | 0.95 |