3D測定レーザー顕微鏡ラインアップ : 株式会社島津製作所

ナノサーチ顕微鏡 SFT-4500

ミリからナノまで1台の顕微鏡でシームレスな観察・測定が可能です。 OLS4100の3D測定レーザー顕微鏡の簡単・高速・広範囲の特長に加えてプローブ顕微鏡の機能を搭載しています。また，OLS4100をSFT-4500の仕様へアップグレードすることも可能です。

詳しくは，販売店にお問い合わせください。

測定機において使用される環境での精度確認は非常に重要です。OLS4100は，専任技術者が使用環境に最適な調整と校正を現地にて行い，校正結果を書面で提出するので，信頼性の高い測定が可能となります。

保守契約サービスの概要
定額料金で定期点検，校正，修理を行います。新規購入時より最長8年まで延長することが可能です。
【対象機種】 OLS4100-SAT（標準モデル），OLS4100-LAT（300 mm電動ステージモデル）

保守契約サービスプランの詳細

安心の保守契約サービスプラン

※価格など詳細は，販売店にお問い合わせください。

本体	LSM部		光源・検出系	光源：405 nm半導体レーザー，検出系：フォトマルチプライヤー
			総合倍率	108～17,280X
			ズーム	光学ズーム：1～8X
	測定	平面測定	繰り返し性	100x :3σn-1=0.02 µm，50x：3σn-1=0.04 µm，20x：3σn-1=0.1 µm
		平面測定	正確さ	測定値の±2%以内
		高さ測定	方式	レボルバ上下駆動方式
			ストローク	10 mm
			内蔵スケール	0.8 nm
			移動分解能	10 nm
			表示分解能	1 nm
			繰り返し性	100x：σn-1=0.012 µm，50x :σn-1=0.012 µm，20x：σn-1=0.04 µm
			正確さ	0.2+L/100 µm以下（L=測定長 µm）
	カラー観察部		光源・検出系	光源：白色LED，検出系：1/1.8インチ200万画素単板CCD
	カラー観察部		ズーム	デジタルズーム：1～8X
	レボルバ			6穴電動レボルバ
	微分干渉ユニット			微分干渉スライダ：U-DICR，偏光板ユニット内蔵
	対物レンズ			明視野プランセミアポクロマート5X，10X LEXT専用プランアポクロマート20X，50X，100X
	Z焦準部ストローク			100 mm
	XYステージ			100 x 100 mm（電動ステージ），オプション：300 x 300 mm（電動ステージ）