OLS4100

3D測定レーザー顕微鏡

レーザー顕微鏡の領域を超えてさらなる可能性を広げます。
-常に信頼できる測定性能と高画質を-

レーザー顕微鏡の領域を超えて,さらなる可能性を広げます

レーザー顕微鏡だからできること

非接触,非破壊でのスピーディーな観察

データ取得方法の比較

○ 非接触,非破壊測定
レーザー顕微鏡(LSM)はサンプルに接触しないレーザー光を使用。そのため,触針式表面粗さ測定機のように,スタイラス(探針)でサンプルを傷つけてしまうことがありません。

サンプルの前処理不要でスタート

○ サンプルの前処理が不要
電子顕微鏡(SEM)の観察の場合,事前に,サンプルの真空蒸着や,チャンバー内に入る大きさにサンプルを切り出したりする必要があります。レーザー顕微鏡ではサンプルの前処理は必要ありません。ステージにサンプルを載せるだけで,すぐ観察が開始できます。

LSMのソリューション 対象機器 電子顕微鏡(SEM)・ 触針式表面粗さ測定機 レーザー顕微鏡は非破壊で測定できるため,測定後にサンプルを製造ラインや実験 プロセスに戻すことができるようになります。

水平方向に優れた測定能力を発揮

サブミクロンのレーザースポット

○ XY方向のサブミクロンを正確に測定
白色干渉計は白色光を使った光学顕微鏡をベースにしており,平面分解能は光学顕微鏡と同等です。レーザー顕微鏡は,高N.A.の対物レンズと短波長のレーザー光の採用により,優れた平面分解能を発揮します。高精度のレーザー制御技術により,観察対象の表面形状を極めて高精度に捉えることができます。レーザー顕微鏡は,多様なサンプルに対して,X-Y方向のサブミクロンの測定が可能です。OLS4100では,最大0.12ミクロンの平面分解能を実現しています。

レーザースポットを高精度に制御
LSMのソリューション 対象機器 白色干渉計 レーザー顕微鏡は,平面分解能に優れ,狙った場所の形状測定が可能です。

高さ方向にも優れた測定能力

○ 微小凹凸をサブミクロン精度で高さ検出

電子顕微鏡(SEM)では高解像の観察画像が得られますが,高さを直接測定することができません。レーザー顕微鏡では,短波長の半導体レーザーとコンフォーカル光学系の採用により,焦点が合った反射光を検知し,焦点が合わない部分の反射光は除外されます。高精度のリニアスケールと組み合わせることで,正確な3次元測定が可能になります。

 

LSMのソリューション 対象機器 電子顕微鏡(SEM)・白色干渉計 レーザー顕微鏡は,数百ミクロンからサブミクロンの微細な凹凸を持つ表面形状の 測定に適しています。
OLS資料室

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