観察時間を短縮するハイスループットスキャナ

走査型プローブ顕微鏡 (Scanning Probe Microscope)

観察時間を短縮する ハイスループットスキャナ

新しく開発したHTスキャナにより、従来より5倍以上の早さ(当社比)で表面形状の観察が可能になりました。
スキャナは簡単に交換できるため、従来のスキャナを使用できます。また、既存のSPM-9700にHTスキャナを追加することで装置のハイスループット化が可能です。

解析例

◆  金属蒸着膜の面粗さ解析
  金属蒸着膜の表面形状を走査速度1Hzと5Hzで観察しました。画質および面粗さの解析の結果は同等です。

◆  グレーティングの段差測定

グレーティングの表面形状を走査速度1Hzと5Hzで観察しました。断面形状解析による段差測定の結果は、どらとも同じ値を示しています。

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