SPM-Nanoa 多彩な拡張機能
あらゆる要求に応える機能と拡張性
■は標準仕様 □はオプション仕様 その他の特注の承ります。お問い合わせください。
オプション
■は標準仕様 □はオプション仕様 その他の特注の承ります。お問い合わせください。
■HTスキャナ
(10μm×10μm×1μm)
□中域スキャナ
(30μm×30μm×5μm)
□広域スキャナ
(125μm×125μm×7μm)
□深型スキャナ
(55μm×55μm×13μm)
□狭域スキャナ
(2.5μm×2.5μm×0.5μm)
□ファイバーライト
□断面観察用試料ホルダ
□粒子解析ソフトウェア
□アクティブ除振台
□専用架台付きアクティブ除振台
□カンチレバー
取り付け治具
□静電気除去器
□OAテーブル
形状

カンチレバーの反りが一定になるように走査して,表面形状を観察します。

カンチレバー振動の振幅が一定になるように走査して,表面形状を観察します。
物性

カンチレバー振動の位相遅れを検出して,表面の粘弾性分布を観察します。

カンチレバーの捻じれを検出して,水平力(摩擦力)を観察します。

カンチレバーの応答を振幅・位相成分に分離して,粘性・弾性の分布を観察します。

フォースカーブから表面の弾性率や吸着力などを算出し,その分布を観察します。
電磁気(オプション)

カンチレバーに流れる電流を検出して,表面の電気特性を観察します。

カンチレバーに働く静電気力を検出して,表面の電位分布を観察します。

カンチレバーに働く磁気力を検出して,表面の磁区分布を観察します。

電気信号に対する圧電応答を検出して,表面の分極分布を観察します。

トンネル電流が一定なるように金属探針を走査して,表面形状を観察します。
加工(オプション)

走査方向や速度速度,荷重,印加電圧などを任意設定して,表面を走査できます。
環境制御(オプション)

液中でコンタクト,ダイナミック,位相の各モードが使用できます。