SPM-Nanoa 多彩な拡張機能
あらゆる要求に応える機能と拡張性
■は標準仕様 □はオプション仕様 その他の特注の承ります。お問い合わせください。
■コンタクト
■ダイナミック
■位相
■水平力（LFM）
■フォースモジュレーション
□電流・I/V
□表面電位（KPFM）
□磁気力（MFM）
■フォースカーブ
□ナノ3DマッピングFast
□圧電応答（PFM）
□STM
□ベクタースキャン
□液中観察
オプション
■は標準仕様 □はオプション仕様 その他の特注の承ります。お問い合わせください。
■HTスキャナ
（10μm×10μm×1μm）
□中域スキャナ
（30μm×30μm×5μm）
□広域スキャナ
（125μm×125μm×7μm）
□深型スキャナ
（55μm×55μm×13μm）
□狭域スキャナ
（2.5μm×2.5μm×0.5μm）
□断面観察用試料ホルダ
□粒子解析ソフトウェア
□アクティブ除振台
□専用架台付きアクティブ除振台
□カンチレバー
取り付け治具
□静電気除去器
□OAテーブル
形状
カンチレバーの反りが一定になるように走査して，表面形状を観察します。
カンチレバー振動の振幅が一定になるように走査して，表面形状を観察します。
物性
カンチレバー振動の位相遅れを検出して，表面の粘弾性分布を観察します。
カンチレバーの捻じれを検出して，水平力（摩擦力）を観察します。
カンチレバーの応答を振幅・位相成分に分離して，粘性・弾性の分布を観察します。
フォースカーブから表面の弾性率や吸着力などを算出し，その分布を観察します。
電磁気（オプション）
カンチレバーに流れる電流を検出して，表面の電気特性を観察します。
カンチレバーに働く静電気力を検出して，表面の電位分布を観察します。
カンチレバーに働く磁気力を検出して，表面の磁区分布を観察します。
電気信号に対する圧電応答を検出して，表面の分極分布を観察します。
トンネル電流が一定になるように金属探針を走査して，表面形状を観察します。
加工（オプション）
走査方向や速度速度，荷重，印加電圧などを任意設定して，表面を走査できます。
環境制御（オプション）
液中でコンタクト，ダイナミック，位相の各モードが使用できます。