SPM-Nanoa 多彩な拡張機能

あらゆる要求に応える機能と拡張性

■は標準仕様 □はオプション仕様 その他の特注の承ります。お問い合わせください。

コンタクト
■コンタクト

ダイナミック
■ダイナミック

位相
■位相

水平力(LFM)
■水平力(LFM)

コンタクト
■フォースモジュレーション

ダイナミック
□電流・I/V

位相
□表面電位(KPFM)

水平力(LFM)
□磁気力(MFM)

コンタクト
■フォースカーブ
□ナノ3DマッピングFast

ダイナミック
□圧電応答(PFM)

位相
□STM

水平力(LFM)
□ベクタースキャン

水平力(LFM)
□液中観察

オプション

■は標準仕様 □はオプション仕様 その他の特注の承ります。お問い合わせください。

HTスキャナ
■HTスキャナ
(10μm×10μm×1μm)

中域スキャナ
□中域スキャナ
(30μm×30μm×5μm)

広域スキャナ
□広域スキャナ
(125μm×125μm×7μm)

深型スキャナ
□深型スキャナ
(55μm×55μm×13μm)

狭域スキャナ
□狭域スキャナ
(2.5μm×2.5μm×0.5μm)

断面観察用試料ホルダ
□断面観察用試料ホルダ

粒子解析ソフトウェア
□粒子解析ソフトウェア

アクティブ除振台
□アクティブ除振台

専用架台付きアクティブ除振台
□専用架台付きアクティブ除振台

カンチレバー
□カンチレバー
  取り付け治具

静電気除去器
□静電気除去器

OAテーブル
□OAテーブル

形状

コンタクト

カンチレバーの反りが一定になるように走査して,表面形状を観察します。

ダイナミック

カンチレバー振動の振幅が一定になるように走査して,表面形状を観察します。

物性

位相

カンチレバー振動の位相遅れを検出して,表面の粘弾性分布を観察します。

水平力(LFM)

カンチレバーの捻じれを検出して,水平力(摩擦力)を観察します。

フォースモジュレーション

カンチレバーの応答を振幅・位相成分に分離して,粘性・弾性の分布を観察します。

Nano 3D Mapping™ Fast オプション

フォースカーブから表面の弾性率や吸着力などを算出し,その分布を観察します。

電磁気(オプション)

電流

カンチレバーに流れる電流を検出して,表面の電気特性を観察します。

表面電位(KPFM)

カンチレバーに働く静電気力を検出して,表面の電位分布を観察します。

磁気力(MFM)

カンチレバーに働く磁気力を検出して,表面の磁区分布を観察します。

圧電応答(PFM)

電気信号に対する圧電応答を検出して,表面の分極分布を観察します。

STM

トンネル電流が一定になるように金属探針を走査して,表面形状を観察します。

加工(オプション)

ベクタースキャン

走査方向や速度速度,荷重,印加電圧などを任意設定して,表面を走査できます。

環境制御(オプション)

液中観察

液中でコンタクト,ダイナミック,位相の各モードが使用できます。

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