EPMA-8050G

電子線マイクロアナライザ(Electron Probe Microanalyzer)

高性能4インチX線分光器を最大5台搭載可能

分析性能の基本となるX線取り出し角度は52.5°をコンセプトキープ

X線の吸収が小さく高感度です。

X線取り出し角度が高いと,深く空いた穴の底や,穴の中にある異物の分析も吸収の影響が小さくなります。

ピットの穴の中にある異物を分析したデータです。左下が鉄(Fe),右下がチタニウム(Ti)の分布です。EPMA-8050Gは高い取出し角度により,凹凸の激しい試料でも精度の高い分析が行えます。

分光結晶は完全集光を実現するヨハンソン型です。

Johanson型結晶 分光素子

島津の伝統が培った独自の結晶製法ノウハウにより,高感度と高分解能を両立させた分光結晶をご提供します。ヨハンソン型分光結晶は収差の無い,完全集光型結晶です。

高感度,高分解能を両立する4インチ分光器を最大5台まで搭載可能です。

EPMAの分析性能においてX線分光器のローランド円径は重要な要素のひとつです。ローランド円の半径が1インチ大きくなると検出感度は30%以上も減少します。島津EPMAは全分光範囲をカバーする4インチ分光器を最大で5台まで搭載することができます。

分光器の構成

各分光結晶の分析可能元素と推奨の分光器構成例です。

分光器配置図

分光器を多チャンネル装備する場合,多くの分光素子が準備されており,目的に応じて最適なものを選ぶことができます。
島津のEPMAは,対物絞りの交換をはじめとする装置パラメータを操作しないで常に最適性能が発揮できるよう設計されていますが,X線分光器についてもその思想は貫かれており,分析に際してローランド円径を選んだりスリット切り替えを行ったりすることなく,最高の感度と最高の分解能を両立させています。

  定性分析 定量分析 マッピング/線分析 状態分析
感度と分解能を両立させた
X線分光器
(島津EPMA)
※すべての分析モードで最適な分析条件を実現できるのは,感度と分解能を両立させた島津X線分光器だけです。
感度重視のX線分光器
ピークが重なりやすくなり,誤判定を招きます。
×
波形変化を捉えにくくなります。
分解能重視のX線分光器 ×
ピーク強度が再現しにくくなります。
×
試料面の影響を受けやすくなるとともに,長時間に渡り,安定したピーク強度が得にくくなります。

微小ピークの検出が難しくなります。

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