EPMA-8050G

電子線マイクロアナライザ(Electron Probe Microanalyzer)

超高感度分析を可能にする大ビーム電流

FEタイプのSEM,EPMAではほかに例を見ない大ビーム電流(加速電圧30kVで最大3µA)が,超微量元素の検出感度を飛躍的に向上させます。元素マッピングでは超微量成分のイメージングが可能になります。
また,全てのビーム電流範囲で対物絞り(アパーチャ)を交換する必要がないので,軸ズレの心配が無く,完全自動分析にも対応します。
3つの画像は,ステンレス中に約1%含まれるSiのマッピング分析を異なるビーム電流で実施した結果です。
ビーム電流が大きくなるほどざらつきが減り,Siを含む領域がより明確になることがお分かりいただけます。
※ いずれも加速電圧10kV,サンプリング時間50msecで測定。所要約1時間。

超高感度分析を可能にする大ビーム電流

超高感度分析を可能にする大ビーム電流

超高感度分析を可能にする大ビーム電流

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