走査電子顕微鏡(SEMシリーズ)の停止・起動手順

本ページは,島津製作所製SEM SS-550/SSX-550を対象 としています。 FEI社製SEMに関しては,日本エフイー・アイ株式会社 技術サービス部(TEL:03-3740-0980 FAX:03-3740-0985)までお問い合せ下さい。

【被災した地域のみなさまへ】

  ・ 地震により実験室で漏電・ガス配管漏れの危険があります。 貴事業所の設備(施設)管理ご担当者の指示に従って,点検をまず受けてください。
  ・ 排気設備などラボの安全設備や,廃液処理・産業廃棄物処理のシステムが正常に稼働していることをご確認ください。
  ・ 分析装置の外観を見て目視異常が無いかを点検してください。 もし通電後に異音異臭が生じていれば,直ちに使用を停止して,サービス員による点検を受けてください。

【これから停電する地域のみなさまへ】

 SS-550/SSX-550は,計画停電のような短サイクルでの立ち上げ・停止を想定した装置ではありませんので,下記手順に従って停止,再起動ください。

(1) 停止手順

  1. 停電が予定されている時刻の少なくとも1時間以上前に【シャットダウン】 操作を行ってください。(取説参照)
この時,ベントを行わなければチャンバー内は真空に保たれます。
  2. 操作1.の後,油拡散ポンプが冷えてシャットダウン動作が完了するまで約1時間かかります。
  3. 2.が完了したら,PC等もシャットダウンし,本体コンソール後ろのブレーカをOFFにしてください。
  4. SEDXが付属している場合は,SEDX制御ユニットの電源SWもOFFにしてください。
  5. 冷却水は可能であれば,流し続けてください。 また,冷却水循環装置の場合は運転を停止してください。
注意事項
停止の後にロータリーポンプのハードウェアSWをOFFにすると,再起動時に問題になることがありますので,このSWは操作しないでください。

(2) 起動手順
  1. 冷却水が設置仕様通りに流れている事を確認してください。
  2. 本体コンソール後ろのブレーカーをONにしてください。
  3. PCを起動して,SEMアプリケーションを開いて[オンライン]にしてください。
  4. [ポンプ]ボタンを押して真空排気を開始してください。
  5. ステータスバーに[オペレート状態]メッセージが出るまで45分程度かかります。
  6. [オペレート状態]を確認後,観察を開始してください。


ご不明な点はWebお問い合わせフォームをご利用ください。

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