KRATOS ULTRA2 (英国名AXIS Supra)
イメージングX線光電子分析装置

試料搬送から測定までを自動化した複合型表面分析装置です。
イメージ空間分解能はサブミクロンへ。
イメージ空間分解能はサブミクロンへ。
球面鏡アナライザーと静電半球アナライザー
イメージングとスペクトロスコピーそれぞれに専用のアナライザーを備えています。高速で空間分解能の高いパラレルイメージングと,マクロ分析でも高いエネルギー分解能を実現するシステムです。イメージング空間分解能は,1ミクロンに達しました。
ディレイラインディテクター(DLD)システム
100以上のチャンネルを備える高感度2次元検出器により,精細なXPSイメージングに加え,高速なスナップショットスペクトル測定が可能です。
磁場レンズ
光電子捕集効率の高い磁場レンズは,微小部領域の測定感度向上に貢献します。
帯電中和機構
磁場を利用した効率の高い帯電補正機構により,絶縁物測定も容易です。
マルチテクニック対応
AES,ISS,SIMSその他様々な分析手法に対応する柔軟性を備えています。さらに,豊富な試料調整機構オプションにより,あらゆる実験ニーズにマッチします。
新しいソフトウエア
新しく開発したデータ処理システムは,初心者からヘビーユーザに至るまでのどのような利用スタイルにも受け入れられるユーザビリティを提供します。
フルコンピューターコントロール
すべての駆動軸をモーター駆動化し,完全なコンピューターコントロールを実現しました。リモートメンテナンスにも対応します。
「装置の詳細な情報はこちら( Kratos Analyticalのページ )」