Siウェハ透過/反射測定システム
FTIRシリーズ セミカスタム品

MAP300の外観図
MappIRの外観図
PIKE社製の半導体ウェハー用自動分析装置(MAP300)を用いて,12インチウェハの透過/反射測定を自動化するシステムです。
よりサイズの小さいウェハ(8インチ以下)を自動測定するための装置(MappIR)もご用意しています。
FTIRシリーズ セミカスタム品
MAP300の外観図
MappIRの外観図
PIKE社製の半導体ウェハー用自動分析装置(MAP300)を用いて,12インチウェハの透過/反射測定を自動化するシステムです。
よりサイズの小さいウェハ(8インチ以下)を自動測定するための装置(MappIR)もご用意しています。