Xslicer SMX-6000

マイクロフォーカスX線検査装置

装置構成 / 万全の安全性

(1) 自社製マイクロフォーカスX線発生装置を搭載

管電圧160 kV・1 µm分解能 開放型X線発生装置を搭載。
高電圧トランスと一体化を実現し,グリスアップの必要がありません。
調整の自動化により,フィラメント交換簡略化を実現しています。
※1 µm分解能:JIMA チャート分解

(2) 検査をサポートする駆動系

高速XYZステージ
±180°の回転・0~60°傾動機構により検査ポイントにスピーディにアクセス。

(3) 外部漏えいX線を防止

装置外部への漏えいX線を遮へいします。
(外部漏えいX線1 µSv/h以下)

(4) 衝突検知センサ

X線検出器の周囲に衝突検知センサを搭載しており緊急時(ワーク衝突時)は駆動系を停止させます。

(5) 正面扉ロック機構

正面扉ロック機構により,X線照射中は正面扉をロックします。
また,インターロック機構により扉が開いている状態ではX線照射や駆動系が停止し,安全を確保しています。

(6) ソフトウェアリミット

ワーク高さに応じて設定されたソフトウェアリミット機能によりフラットパネル検出器との衝突事故を未然に防ぎます。

ソフトウェアリミット

Top of This Page