Xslicer SMX-6000

マイクロフォーカスX線検査装置

CT撮影の原理

CT撮影の原理

フラットパネル検出器を傾動させ,360度回転しながらX線透視画像を収集します。得られた透視画像から再構成演算を行い,断面画像を作成します。

マイクロフォーカスX線検査装置 Xslicer SMX-6000 -快適なCT撮影-

参考(直交CT)

回転方向に対してX線を直交方向から照射し,透視画像を各方向から撮影して,再構成することでワークの断面画像を得ます。

参考(直行CT)

傾斜CTの長所

平面状のワークの高拡大撮影が可能

■ 傾斜CT

傾斜CT

●説明
大型基板等を傾斜CTで撮影する場合
ワークはXYステージ上にあるため,X線発生装置に寄せることができ,高拡大撮影が可能

■ 直交CT

直行CT

直交CTを回転テーブル上面から見た図

 

●説明
大型基板等を直交CTで撮影する場合
拡大率を上げるためにX線発生装置側にワークを寄せると,CT撮影中にX線発生装置と干渉するため,高拡大撮影ができない

観察事例

直交CT

直交CT

Xslicer SMX-6000

Xslicer SMX-6000

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