XDimensus 300

計測用X線CTシステム

High Accuracy

クラス最高レベルの球間距離測定誤差
±(3.8+L/50)μ m*を達成。

自社製マイクロフォーカスX線発生装置,高解像度広視野検出器に加え,装置内部の温度を一定に保つ空調装置や高い形状安定性を実現するグラナイト製フレーム,超高精度ワーク位置決めステージを搭載し,高精度測定を実現しました。

*例:L=100mmの場合 5.8μ m以内の誤差

自社製マイクロフォーカスX線発生装置

高出力マイクロフォーカスX線発生装置を搭載。熱を原因とするX線焦点ドリフトをリアルタイムで補正します。

高解像度広視野検出器

高解像度16インチフラットパネル検出器を採用。高解像度と広視野を両立しています。

精度自己診断機能

システム状態を監視する自己診断機能を搭載。装置状態をリアルタイムでオペレータに通知します。

超高精度回転ステージ

回転ステージにはエアーベアリングを採用。
芯ぶれ精度を極限まで抑えつつ,テストワークサイズΦ300mm×H300mmを実現しました。

防護箱内空調装置

防護箱内の温度管理を行う,空調装置を搭載。

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