PDD高感度分析システム

無機ガス分析はppbの領域へ

PDD高感度分析システム

本システムは,無機ガスから低沸点有機化合物までを高感度に測定可能なシステムです。

昨今の電子デバイス関連の技術革新にともなって,電子・半導体関連の製造過程ではこれまで以上に高純度なガス供給が必要となっています。これに対応するため,ガス製造の段階で厳密なガス純度の管理が求められており,これまで一般的であったTCD測定では感度不足が否めません。
こういった要求をみたすために,PDD高感度分析システムは開発されました。検出器に,PDD(Pulsed Discharge Detector)を用いているため,TCDとは桁違いの高感度検出が可能です。 (GC-2014に搭載可能です。)

PDD原理

原理説明

パルス放電によって生成された励起状態のHe分子が基底状態のHe原子に戻るときに,13.5~17.7eVの光エネルギーが発生します。 この光エネルギーによって測定対象の分子がイオン化され,検出されます

用途

  • ガス製造会社の高純度ガス分析
  • 半導体関連の空気液化プラントでの分析
  • 化学工業における,FIDのような引火性のある検出器が使用できない区域でのGC分析
    など

測定対象

H2,O2,N2,CH4,CO,CO2,Ar,Ne,Xe,その他低沸点有機化合物

データ例

データ例

右にヘリウム中の水素,酸素,窒素,メタンの分析例を示しました。

なお,本システムは微量高感度分析を行うため,サンプリング,分離,配管,ガス純度などに特別な注意が必要となります。あらかじめご了承ください。

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