FTIRシリーズ セミカスタム品

平行光透過率測定システム

概要

FTIR本体試料室右側面の平行光束位置下部にリニアガイドを設置し,カートリッジホルダに取り付けたサンプルを平行光束位置で透過測定を行うシステムです。SiウェハやGeディスクなど,高屈折率材料の透過率をより正確に測定することが可能です。

注:IRAffinity-1シリーズ,IRPrestige-21,FTIR-8000シリーズで対応可能です。IRTracer-100は別途ご相談ください。

光学系の概略図
光学系の概略図
試料室周りの概略図
試料室周りの概略図

対象試料

Siウェハ,Geディスクなど高屈折率試料

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