FTIRシリーズ セミカスタム品

Siウェハ透過/反射測定システム

概要

MAP300の外観図  MappIRの外観図

MAP300の外観図

MappIRの外観図

PIKE社製の半導体ウェハー用自動分析装置(MAP300)を用いて,12インチウェハの透過/反射測定を自動化するシステムです。
よりサイズの小さいウェハ(8インチ以下)を自動測定するための装置(MappIR)もご用意しています。

対象試料

Siウェハ

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