Siウェハ透過/反射測定システム

MAP300の外観図

MappIRの外観図

PIKE社製の半導体ウェハー用自動分析装置（MAP300）を用いて，12インチウェハの透過/反射測定を自動化するシステムです。
よりサイズの小さいウェハ（8インチ以下）を自動測定するための装置（MappIR）もご用意しています。