Siウェハ中の軽元素濃度計算プログラム

プログラム起動時と結果表示のイメージ図
（結果表示は置換型炭素濃度計算結果）

このプログラムはシリコン結晶中の置換型炭素，格子間酸素およびSiN膜中のN-H，Si-Hの水素濃度を定量するためのものです。
置換型炭素濃度および格子間酸素濃度については，日本電子工業振興協会から発行されているJEITA規格（シリコン結晶中の格子間酸素濃度と置換型酸素濃度の標準測定法）に沿ったプログラムとなっています。測定はすべて透過法で実施し，ブランクとなるSiウェハはお客様で準備していただく必要があります。ブランク試料の詳細については以下をご参照ください。