自動不良解析システム

赤外顕微鏡 AIM-9000

ATR反射対物鏡(スライドオンタイプ) Geプリズム:P/N 206-32600-41 ZnSeプリズム:P/N 206-32601-41

コーンタイプのプリズムを採用し,倍率は15倍,平均入射角45°,反射回数は1回です。プリズムはスライドオンタイプで,可視観察⇔赤外測定が簡単に切り替えできます。紙やプラスチックなど,赤外光が透過/反射しにくいサンプルや,シミのような非常に薄い部分の測定に効果的です。


ATR圧力センサー P/N 206-32603-41

ATR反射対物鏡によるATR測定時の圧力センサーです。過剰圧によるプリズムの破損を防止します。自動密着測定も可能です。

高感度反射対物鏡(GAO) P/N 206-32602-41

平均入射角80°の高感度反射対物鏡です。金属板やミラー上の厚さnmオーダーの有機溥膜などを高感度で測定できます。
不良解析ではATRプリズムが密着できない凹部分に測定対象物がある場合や,基板上のシミ様異物などの測定に効果を発揮します。

室温検出器(TGS) P/N 206-32580-41

赤外顕微鏡AIM-9000にTGS検出器を搭載することによって,液体窒素を使わずに赤外スペクトルを測定できます。必要に応じてMCT検出器とTGS 検出器を切り替えて測定することもできます。TGS検出器はMCT検出器と比較すると測定可能な波数範囲が広くなりますが(~400 cm-1),感度は劣ります。100 μm以下の微小部を測定する場合にはMCT検出器を使います。

ダイヤモンドセルCII 型 P/N 208-92289-01

微小サンプルを薄く圧縮してそのまま顕微鏡で測定する加圧セルです。プラスチック,繊維などのサンプルに応用できます。CII型は薄くて大きな人工ダイヤモンド製の窓板を採用しています(直径1.6 mm)。天然ダイヤモンドを用いたB型もあります。

赤外偏光子 P/N 206-32605-41

サンプルの配向特性研究や,高感度反射測定時の感度増加に有効な付属品です。赤外偏光子は顕微鏡側面から差し込んで使用することができます。

可視偏光子 P/N 206-32540-41

通常の可視光観察では確認が難しいサンプルなどの可視観察に有効な付属品です。偏光特性を利用することによって確認が容易になります。

Top of This Page