必ず各部の温度を50℃以下に下げた後、メンテナンス作業を行なってください。
取り外した部品等は清浄なトレイやシート上に置き、紛失、汚染の無いように注意してください。
適切な工具を使用し、作業を行なってください。使用する工具は、あらかじめ汚れをアセトンを含ませたガーゼ等で拭き取っておいてください。
ホトマルが破損する恐れがあるため、装置が起動しているときやFPDがONの時にはホトマル部を取り外さないでください。
プラスドライバー
1 |
装置を停止し、検出器ガスの供給を停止します。 |
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2 |
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ローレットネジを外してFPD上カバーを取り外します。
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3 |
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2本のホトマル部固定ローレットネジを緩めます。
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4 |
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ホトマル部を横にゆっくり引き抜き、取り外してください。 ホトマルの受光部に強い光が当たらないようアルミ箔などで覆ってください。 |
5 |
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冷却フィン用ダクトを引き抜きます。
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6 |
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2箇所のボディ部固定ネジを外します。 |
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ボディ部固定板金と共にボディ部を上に引き抜きます。 |
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一旦シールドリングを一番下まで下げます。 |
9 |
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シールドリング高さ調整冶具の外筒を回して内筒の合わせたい高さの溝に合わせます。 一番下の溝に合わせるとノズル先端とシールドリングの高さが同一になります。 通常は一番下の溝に合わせます。溝は1mm間隔です。 |
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内筒の凹みにノズル先端部がはまるように調整冶具をノズルに乗せます。 |
11 |
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冶具の外筒の高さまでシールドリングを回して上げます。
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シールドリング調整冶具を取り外し、ボディ部固定板金と共にボディ部を差し込みます。 |
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2箇所のネジを締め付け、ボディ部を固定します。 |
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冷却フィン用ダクトを差し込みます。 |
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ホトマル部をゆっくりと取り付けます。 |
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ホトマル部固定ローレットネジを締め、ホトマル部を固定します。 このときホトマル部と干渉フィルタがきっちりとはまっていることを確認します。 |
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FPD上カバーを取り付け、ローレットネジで固定します。 |
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18 |
装置を起動します。 |
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