CIGS太陽電池Mo裏面電極の洗浄前後レーザーパターニング形状観察

CIGS太陽電池Mo裏面電極の洗浄前後レーザーパターニング形状観察

CIGS太陽電池Mo裏面電極の洗浄前後レーザーパターニング形状観察

CIGS太陽電池では素子分離のために3回パターニングが行われますが、それぞれ決められた幅での正確なパターニング処理は重要なパラメータとなります。
図1ではMo裏面電極にレーザーパターニングを行った直後に観察されたひげ状のウィスカーが洗浄後に除去されていることが観察されています。
図2ではレーザーパターニング直後に発生していたバリが洗浄後に除去されていますが、わずかにパターニング側壁が削り取られている状態が観察されています。

ナノサーチ顕微鏡 SFT-3500

ナノサーチ顕微鏡

ナノサーチ顕微鏡 SFT-3500は大型試料対応の超高倍率三次元測定顕微鏡です。光学顕微鏡・レーザ顕微鏡の多彩な観察法を駆使して観察位置をスピーディーに特定し、試料を移動させずにそのままSPM観察ができます。ミリメートル領域からナノメートル領域までの計測が一台で実行できる装置です。

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